真空实验箱体，实验箱体的参考配置，仅供参考：温度均匀性：≤±1.5%℃； 升温速度：0-8℃/min； 氧浓度：≤20ppm 工作尺寸：2-12寸晶圆及方片兼容，可尺寸定制 电源：AC380V/50HZ, 操作方式：人机界面+PLC，自动控制，程式运行 进气口：φ10mmN2进气、流量计控制/可调

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